Von welchen Materialien werden Halbleiter gemacht? Molybdänspritzenziele für Halbleiter

Heute werden Spritzenziele in einer großen Vielfalt von den Anwendungen benutzt, die von der Halbleiterindustrie bis zu Dünnfilmabsetzung von verschiedenen Materialien bei der Verarbeitung der integrierten Schaltung reichen. Das Spritzen ist eine hergestellte Technik für das Niederlegen von Dünnfilmen einer Vielzahl der Materialien auf Substrate von verschiedenen Formen und von Größen. Um die gewünschten Eigenschaften zu erreichen spritzen Sie herein niedergelegte Filme, die Herstellungsmaterialien und die Prozesse, die verwendet werden um zu fabrizieren Ziel zu spritzen sind kritisch. Unten werfen wir einen Blick auf Molybdänspritzenziele für Halbleiter.

Zusätzlich zu den reinen Metallzielen wie Wolfram, Molybdän, Niobium, Titan und Silikon, gibt es auch Legierungsziele wie Wolfram, Molybdän, Titan, Silikon und Tantal sowie Mittel wie Oxide oder Nitride. Der Prozess der Bestimmung des Materials ist so wichtig wie die Betriebsparameter der Absetzung dass die Ingenieure und Wissenschaftler, die während des Beschichtungsverfahrens perfekt sind.

Verglichen mit anderen Absetzungsmethoden, hat der gespritzte Film bessere Adhäsion auf dem Substrat, und Materialien mit extrem hochschmelzenden Punkten wie Molybdän und Wolfram werden auch leicht gespritzt. Auch das Spritzen kann von oben bis unten getan werden, während Verdampfung von der Unterseite nur erfolgt sein kann, um zu übersteigen.

Spritzenziele sind gewöhnlich rund oder rechteckig, aber andere Formen sind auch, einschließlich die quadratischen und dreieckigen Entwürfe verfügbar. Das Substrat ist der beschichtet zu werden Gegenstand, der Halbleiterwafer, Solarzellen, optische Elemente oder viele anderen Möglichkeiten umfassen kann. Die Stärke der Beschichtung ist gewöhnlich im Bereich von den Ångström zu den Mikrometern. Die Membran kann ein einzelnes Material oder mehrfachen Materialien in einer mehrschichtigen Struktur sein.

Als refraktäres Metall mit einer breiten Palette des Gebrauches, hat Molybdän ausgezeichnete mechanische Eigenschaften, niedrige Expansion, hohe Wärmeleitfähigkeit und extrem hohe elektrische Leitfähigkeit bei hohen Temperaturen. Als Spritzenziel gibt es verschiedene Kombinationen, wie reines Molybdänziel, Molybdäntitanziel, Molybdäntantalziel, Molybdänlegierungsziel (wie TZM-Platte).

Molybdänspritzenziel hat die Eigenschaften von Körnern des hohen Reinheitsgrades, der hohen Dichte, der Geldstrafe und der Uniform, um extrem hohe Spritzenleistungsfähigkeit, einheitliche Dicke und glatte Ätzungsoberfläche während des Spritzenprozesses zu erhalten.